抗靜電的電阻值: 105~109 歐姆
低摩擦系數(<0.1)/ 耐摩耗行為, 用以提供封裝、測試治具的壽命的有效提升
抗腐蝕特性優異
抗沾黏特性優異
高溫穩定性: ~300 oC
Hauzer 設備功能特點:
1. DC 或 RF PaCVD: Bias, Power supply RF; 電漿清潔偏壓電源BIAS
共兩種 bias power supplies
2. Si 元素的前驅物: TMS
3. Soft Roughing: 減少在抽真空時所造成的擾流。在最大限度地減少顆粒
數量,以確保塗層品質的前提下,盡可能減少顆粒數量的產生。
4. Plasma Source: Hauzer 獨特地電漿源清潔,解決了一般
Glow Discharge 輝光放電電漿的工件幾何形狀遮敝效應,可以將工件有效地做離子清潔及蝕刻。
5. 鈦金屬中間層: 濺鍍系統。在 DLC 層與基材的介面,增加一層鈦金屬中
間層,用以增加 DLC 塗層的附著性。
6. 可用於 RF 系統的旋轉 工件載台
